Jedná se o druh destilace v prostředí s vysokým vakuem, pro rozdíl mezi volnou cestou molekulárního pohybu materiálu, byla provedena v procesu destilace a čištění materiálu citlivého na teplo nebo materiálu s vysokým bodem varu. Destilace s krátkou cestou se používá hlavně v chemickém, farmaceutickém, petrochemie, koření, plasty, ropa a další oblasti.